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高精度激光三角位移测量系统误差分析

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摘要激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用。针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案。经实验验证,该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器。

DOI ojzpe9ky45/1256270

作者何凯;陈星;王建新;张勤耀

机构地区不详

出处《光学与光电技术》 2013年3期

关键词激光三角法光斑定位二次法定标光电探测器非接触测量

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 2013年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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光学与光电技术

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