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加快发展超纯化学试剂

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摘要近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.

DOI 7j678v27d0/2115942

作者吴镇堃

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年08M期

关键词超纯化学试剂集成电路微电子行业超精密清洗超净高纯化学试剂

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年10月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

洗净技术

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