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《洗净技术》
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2003年08M期
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加快发展超纯化学试剂
加快发展超纯化学试剂
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摘要
近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
DOI
7j678v27d0/2115942
作者
吴镇堃
机构地区
不详
出处
《洗净技术》
2003年08M期
关键词
超纯化学试剂
集成电路
微电子行业
超精密清洗
超净高纯化学试剂
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2003年10月18日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
洗净技术
2003年08M期
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