浅谈氧化镓肖特基二极管的发展

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摘要 摘要:肖特基二极管作为一种重要的功率二极管,广泛应用于电力电子线路的整流器和直流转换器中。宽禁带半导体材料氧化镓(Ga2O3)由于其拥有超大的禁带宽度,高击穿场强,可调的n型掺杂浓度和低成本的单晶生长技术,因而非常适合制作功率肖特基二极管。但是目前氧化镓的研究还处于初期,更大尺寸高质量单晶材料的制备、器件结构和工艺的优化等重要问题仍需探索并解决。本文通过统计、分析氧化镓肖特基二极管的中国专利申请,梳理了其研究进展。
出处 《中国科技信息》 2022年9期
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出版日期 2022年11月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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