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硅外延掺杂电阻率均匀性控制研究

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摘要摘要：

DOI rj82l5o9j0/6739282

作者孙信华

机构地区中芯国际集成电路制造（天津）有限公司天津 300385

出处《中国科技信息》 2022年18期

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出版日期 2023年01月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国科技信息

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