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一种新型靶材除尘方法研究

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DOI zdl65mrqdl/7020540

作者黄厚添欧淑赵文静刘佳雯刘靖熙

机构地区桂林电子科技大学商学院广西桂林 541004

出处《中国教工》 2023年4期

关键词溅射靶材除尘离心旋转法

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2023年04月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国教工

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