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芯片成品缺陷自动检测技术的研究

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摘要摘要：由于芯片成品缺陷检测还要求细胞在隐藏或缺失角点和不均匀照明的情况下找到细胞的位置,因此基于灰度值的模式匹配算法无法处理此类干扰,但图像边缘不受光线变化影响。本文对表面缺陷自动检测技术进行分析，以供参考。

DOI 0dpx72gxj2/7281093

作者黎莉

机构地区浙江赛摩智能科技有限公司

出处《中国科技信息》 2023年7期

关键词表面缺陷自动检测技术研究

分类 [][]

出版日期 2023年06月21日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国科技信息

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