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半导体新材料清洗废水处理技术研究及展望

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摘要摘要：近年来，各种晶体新材料，如半导体、单晶硅、多晶硅等应用广泛，整个行业进入了加速发展期。此外，加上智慧互联网、物联网等新兴产业的半导体材料应用，半导体材料展现出强大的发展潜力。半导体市场快速发展，各种需求也显现出来，很多半导体生产基地在国内建立，例如，先导、长江存储、紫光等。半导体生产不仅给中国带来了巨大的经济利益，同时也产生了新的环境污染问题。

DOI 7dm9r5krjn/7778578

作者胡超超

机构地区 610326199009102033

出处《科技新时代》 2023年13期

关键词半导体清洗废水处理技术展望

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2023年11月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）