激光刻蚀技术在微电子器件制造中的应用与可行性研究-中国期刊网

摘要摘要：微电子器件制造是现代科技发展的基石，随着技术的不断进步和需求的增长，对器件的精度和性能提出了更高的要求。然而，传统的制造方法在满足这些要求方面面临一系列挑战。激光刻蚀技术作为一种高精度、非接触的加工方法，具有潜在的优势，可以应用于微电子器件制造中。通过对激光刻蚀技术的概述、微电子器件制造的挑战、激光刻蚀技术的应用案例以及技术可行性的研究，可以为进一步推动微电子器件制造领域的发展提供理论和实践依据。

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激光刻蚀技术在微电子器件制造中的应用与可行性研究

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