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自控系统集成技术在洁净厂房中的应用

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摘要摘要：半导体行业被称为创新驱动的基础，其对国家经济竞争和发展都会产生重要影响，为了促进半导体行业发展，要建设洁净厂房，而为了发挥出洁净厂房的作用，必须将自控系统应用在洁净厂房内。下面，以洁净厂房的特点作为切入点，概述了自控系统相关内容，最终对洁净厂房内自控系统的实现内容进行了总结，希望文中内容对相关工作人员能够有所帮助。

DOI wjvmgyqnj7/7932450

作者陈志

机构地区中国电子系统工程第三建设有限公司四川省成都市 610000

出处《新视线·建筑与电力》 2023年17期

关键词自控系统洁净厂房空气净化故障报警

分类 [][]

出版日期 2024年01月03日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）