电子级氢氟酸生产过程质量管控

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摘要 摘要:我国光伏行业发展迅速,相应地对氟化工的依赖程度也在不断增加。电子级氢氯酸作为光伏板制备、集成电路清洗的关键性材料,我国长期以来依赖于进口。对我国电子级氢氯酸的研究进展进行了概述,主要包括发展现状、在线监测、质量控制等几个方面。
出处 《科技新时代》 2024年3期
出版日期 2024年04月09日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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