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MEMS加速度传感器及压电式加速度传感器失效机理研究

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摘要摘要：在现代科技领域，传感器技术扮演着至关重要的角色，其中，MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器以其独特的性能特点被广泛应用于各个领域。本文将对这两种传感器的原理进行阐述，同时探讨压阻式和电容式加速度传感器的失效模式与失效机理，并给出避免失效的方法。

DOI rdx9912z5d/8427701

作者周碧璇周立凡王立群

机构地区陕西电子信息研究院有限公司陕西省西安市 710077

出处《科技新时代》 2024年7期

关键词

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年07月03日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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