Al/Ta纳米多层膜中的结构形貌稳定性演化-中国期刊网

摘要采用磁控溅射技术制备了调制波长从18-108nm的Al/Ta金属多层膜,并研究多层膜沉积过程中的截面结构形貌演化,实验表明,薄膜结构形貌演化分为四个阶段：孕育,萌生,发展和湮灭,可能是因为弹性失配引起的,并且随调制波长的增加呈现逐渐减弱的趋势。单向拉伸实验表明,这些结构形貌的非稳定区域严重影响力学行为,非稳区域往往是潜在的裂纹萌生区域。

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Al/Ta纳米多层膜中的结构形貌稳定性演化

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