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一般工业技术
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等离子体发生器制备纳米微粒

作者：何蓉
学科：一般工业技术 > 材料科学与工程
创建时间：2004-04-14
出处：《纳米科技》 2004年第4期

简介：介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
标签：化学气相法等离子体发生器温度形态

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