简介:SOICMOS技术在一些特殊应用领域中有着体硅无法比拟的优势。文中叙述采用SIMOX材料和0.8μmSOICMOS工艺加固技术成功研制出抗辐射性能较好的器件和电路,并且给出了SOICMOS器件的特性随辐照总剂量的变化关系,试验电路通过了总剂量500Krad(Si)钴60γ射线辐照实验.
0.8μmSOI CMOS技术及电路研制