简介：主要介绍了ITO薄膜的制备工艺和掺杂优化工艺，例举了两种气敏机理的推论以及掺杂优化的机理。指出今后ITO气敏材料的气敏机理将成为研究重点，新形态ITO材料的研发将成为主要发展方向。
ITO气敏材料的制备和掺杂工艺的研究进展
