简介：摘要：本文主要针对步进投影光刻机及其常见故障展开深入研究，先阐述了投影光刻机的结构、曝光系统等等，然后就又提出了几点常见故障，并采取了相应的解决方法，如圆片传输故障、曝光光源故障、淹模板传输故障、圆片出台故障，通过以上方法，能够使其常见的故障更好地解决。

简介：摘要目的了解居民对新型粪便免疫化学检测（FIT）技术的整体主观接受情况及对筛查流程不同环节的评价情况。方法于2018年5月至2019年5月，以5个省份（浙江、安徽、江苏、湖南和云南）为研究现场，招募2 474名50~74岁人群为研究对象。通过问卷调查获得一般人口学特征、对FIT接受和评价情况及FIT筛查各环节遇到困难。采用多因素logistic回归模型分析取样、结果读取和结果上传过程所遇困难的相关因素。结果研究对象的年龄为（60.0±6.4）岁，女性、受教育程度为高中/中专及以上、无业人员/退休/其他、已婚、新型农村合作医疗者分别占61.7%（1 526名）、29.0%（718名）、34.3%（849名）、92.7%（2 293名）、31.3%（775名）。居民对FIT技术总体主观接受度为94.8%；取样、结果读取和上传环节遇到困难者分别占33.1%（819名）、46.4%（1 147名）和62.9%（1 557名）;主要困难在不确定取样操作是否标准（28.0%）、无法准确判断结果显示（32.5%）以及不使用智能手机而需帮忙（44.2%）。多因素logistic回归模型分析结果显示，65~74岁、医保状况为新型农村合作医疗者在取样过程遇到困难的可能性较高，无业人员/退休/其他和共同生活家庭成员数大于在3人及以上者在取样过程遇到困难的可能性较低；65~74岁、农民或农民工、医保状况为新型农村合作医疗者在结果读取中遇到困难的可能性较高，共同生活家庭成员数在3人及以上者在结果读取中遇到困难的可能性较低；医保状况为新型农村合作医疗者在结果上传过程遇到困难的可能性较高，教育水平为高中/中专及以上、共同生活家庭成员数为3人及以上者在结果上传过程遇到困难的可能性较低。结论居民对新型FIT技术主观接受度较高；年龄、教育水平、职业、共同生活家庭成员数和医保状况可能与取样、结果读取和结果上传过程所遇困难有关联。