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Plasma Treatment of Aluminum Using a Surface Barrier Discharge Operated in Air and Nitrogen： Parameter Optimization and Related Effects

简介：Thispaperpresentstheresultsofaluminumsurfacetreatmentbydiffusecoplanarsurfacebarrierdischarge.Thegoalsaretostudytheeffectivenessoftheplasmatreatmentandthedependenceofitsefficiencyonoperationparameters,suchassample-to-electrodedistance,treatmenttimeorgasatmosphere.Threetypesofaluminummaterials(bricks,sheetsandthinfilms)weretestedtoensurethereliabilityofthetreatment.Thechangesinthesurfacepropertieswerecharacterizedbythesurfacefreeenergy,atomicforcemicroscopy,attenuatedtotalreflectanceFouriertransforminfraredspectroscopy(ATRFTIR)andX-rayphotoelectronspec-troscopy(XPS).Theinfluenceofagingeffectonthetreatmentwasalsomeasuredanddiscussed.
标签：等离子体处理表面处理操作参数铝材料参数优化放电

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