简介：光刻胶剖面形貌和关键尺寸（CD）是光刻工艺的关键参数，而实际光刻工艺中受到前层次图形的影响，尤其是后端布线工艺受到前面工序高低台阶影响十分严重。文章基于光学干涉原理及King的胶厚理论模型和光刻胶SwingCurve曲线研究了光刻胶跨越高台阶对成像的影响，分析了造成光刻胶剖面和关键尺寸变化的主要原因。一是台阶处衬底的反射影响了光刻胶剖面形貌；二是高台阶处光刻胶厚度比正常厚度变薄导致光刻曝光条件不适用于高台阶处光刻胶。最后通过优化胶厚及增加底部抗反射层有效解决CD差异和改善光刻胶形貌。
简介：截止到2006年3月，全球共颁发了155张3G许可证，其中包括加拿大的5张PCS3G许可证。但是一些获得许可证的公司由于种种原因退还了许可证，所以持有在公司手中的有效3G许可证实际上只有147张。在这147张3G许可证中，选择WCDMA的有137个运营商，CDMA2000的有4家运营商，另外还有加拿大的5张PCS，和澳大利亚的CKWWireless公司的I-BURST系统。
简介：生产能力审计服务，是CCF顾问公司众多服务中主要的一项。它是通过CCF公司顾问从多年的SMT电子制造技术和审计的经验中，开发成的一套审计制度和评分方法，对用户的SMT生产能力进行审计、量化标定和比较。协助用户较客观的了解到本身在技术应用和管理上的真正实力、水平和强弱点。从而进行调整或改进，确保更有效的使用资源。这做法是公司改善提升所必须做到的第一步，也是当今先进管理和科学管理中一个不可少的工具和做法。
台阶处光刻工艺的优化与研究
WCDMA已成全球3G运营主流亚洲处领跑地位
中国电子专用设备工业协会美国SMTA深圳办事处——内部诊断之生产能力审计服务
