简介：本文在阐述了单定子三自由度球形超声波电机工作原理的基础上，研究其工作模态的确定方法。定子由弹性体和压电陶瓷两种材料组成，不仅存在自由度耦合问题，而且还存在不同物理场的耦合问题。应用有限元法对电机定子振动过程中的机电耦合场进行分析，提取超声频段的振动模态。通过分析各阶主振型的特点来确定电机工作模态的固有频率。与实验数据对比，计算值与试验值吻合得较好，从而验证了分析方法的合理性。
三自由度球形超声波电机定子的振动模态分析
