简介:全氟化碳是温室气体,大量排放到大气中将会严重污染环境,在薄膜晶体管液晶显示器的生产过程中需要用全氟化碳做等离子刻蚀的反应性气体和在化学气相沉积工艺中做清洗气体,为减少使用过程中全氟化碳的对外排放,国外的TFT-LCD企业作了大量的工作,特别是日本、韩国、我国的台湾地区.文章介绍了全氟化碳温室效应的计算方法、全氟化碳在TFT-LCD制造过程中的具体应用、国外为减少全氟化碳排放采取的措施,相信这些经验对处于起步阶段的我国TFT-LCD行业有很好的借鉴作用.
简介:备受关注的欧盟《关于在电子电气设备中限制使用某些有害物质指令》(RoHS指令)于今年7月1日起正式实施。关于RoHS指令豁免的最新进展情况显示,由于有些电器制品还未开发出可替代的其他物质,欧盟已决定对于此类电器制品,可免除RoHS指令中的22项检验项目。