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  • 简介:本文介绍了一种在MEMS传感器中利用剥离工艺制作斜面barber电极的技术。通过研究曝光量、PEB温度和PEB时间对负胶倒角的影响得到最佳工艺条件,负胶形貌为倒梯形,等效倒角约69°。曝光量主要影响曝光区域链式反应的充分度;PEB温度和PEB时间主要影响链式反应后收缩应力的释放程度。优化后的工艺成功运用在MEMS传感器barber电极的制作中,平面和斜面barber电极无脱落异常。

  • 标签: 剥离工艺 barber电极 负性光刻胶 倒角 MEMS磁传感器
  • 简介:Gigamon近日宣布,其公有云可视化解决方案开始在亚马逊AWS云服务弹性计算云(EC2)产品上进行现场测试,这是可帮助企业实现公有云信息可视化的方案,企业借此获得对公有云应用和信息的可视化。这对于加速公有云普及以及减少相应迁移中断及其他风险,有着重要的作用。

  • 标签: Gigamon 弹性计算 对公 信息流量 监测基础 提供商
  • 简介:无锡2016年3月24日电/美通社/--美新半导体(无锡)有限公司("美新公司")发布面向移动终端的超小型BGA封装三轴传感器系列产品:MMC3630KJ。近年来MEMS传感器产业高速发展,广泛应用于消费电子、工业控制、汽车电子等领域。随着MEMS运动传感器技术的突破发展,基于运动传感器组合的新兴技术在物联网和可穿戴应用中发挥着越来越重要的作用。为了满足快速增长的市场需求。

  • 标签: 磁传感器 AMR技术 运动传感器 新兴技术 物联网 汽车电子
  • 简介:La1.4Sr(1.6-x)CaxMn2O7(x=0,0.2,0.4,0.8,1.0,1.4,1.6)系列的多晶样品是使用固相反应的方法得到的,它是一种具有两层钙钛矿结构的锰氧化物,通过XRD分析,当0≤x≤0.8时,样品架构是Sr3Ti2O7四方型,空间群是I4/mmm,成为两层钙钛矿的架构;当1.0≤x≤1.6时,样品架构是ABO3正交型,空间群是Pbnm,成为立方架构CaO与ABO3型钙钛矿架构混合物。

  • 标签: 固相反应法 双层钙钛矿锰氧化物 磁结构 磁特性