简介:Electricallypumpedhighpowerterahertz(THz)emittersthatoperatedaboveroomtemperatureinapulsemodewerefabricatedfromnitrogen-dopedn-type6H-SiC.Theemissionspectrahadpeakscenteredon5THzand12THz(20meVand50meV)thatwereattributedtoradiativetransitionsofexcitonsboundtonitrogendonorimpurities.Duetotherelativelydeepbindingenergiesofthenitrogendonors,above100meV,andthehighthermalconductivityoftheSiCsubstrates,theTHzoutputpowerandoperatingtemperatureweresignificantlyhigherthanpreviousdopantbasedemitters.Withpeakappliedcurrentsofafewamperes,andatopsurfaceareaof1mm2,thedeviceemittedupto0.5mWatliquidnitrogentemperature(77K),andtensofmicrowattsupto333K.ThisresultisthehighesttemperatureofTHzemissionreportedfromimpuritybasedemitters.
简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:针对被动雷达导引头抗干扰评估指标多、难以综合评定的问题,提出了基于物元模型的被动雷达导引头抗干扰综合评估方法.该方法以物元模型的可拓集合和关联函数理论为基础,确定了抗干扰性能的等级范围,将待评的抗干扰性能指标代入各等级的集合进行关联度的计算,按照关联度的大小确定相应的抗干扰性能等级.结合多种被动雷达导引头的指标参数,进行了算例分析,结果表明,该方法能够实现对被动雷达导引头的抗干扰性能综合评估.该方法的提出对于其他体制导引头抗干扰性能综合评估也具有借鉴意义.