简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:摘要:光是自然界中的一个重要现象,我们的眼睛之所以可以看到自然界中的各种景象,都是因为我们的眼界可以接收到自然界中的各种物体反射的光,所以说光和人类的生活有着很紧密的联系。而光学实验也是高中物理实验中一个重要的实验,其中,光的干涉和衍射也是光学中的一个最基本的主题。从根本上面来说,光的干涉和衍射都是光波的相干迭加的结果。所以它们在原则上是没有区别的。但是它们二者所强调的侧重点是不一样的,光的干涉产生的是干涉条纹,强调光的直线传播,而光的衍射产生的是衍射条纹,强调光的非直线传播。运用matlab仿真模拟光的双缝干涉,单缝夫琅禾费衍射,双缝衍射和衍射光栅。在以后的光学教学中,也可以通过仿真模拟实验,方便学生掌握光的干涉与衍射的特点。