简介:ThisworkinvestigatedC2F6/O2/ArplasmachemistryanditseffectontheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kdielectricsin60MHz/2MHzdual-frequencycapacitivelycoupleddischarge.FortheC2F6/Arplasma,theincreaseinthelow-frequency(LF)powerledtoanincreasedionimpact,promptingthedissociationofC2F6withhigherreactionenergy.Asaresult,fluorocarbonradicalswithahighF/Cratiodecreased.Theincreaseinthedischargepressureledtoadecreaseintheelectrontemperature,resultinginthedecreaseofC2F6dissociation.FortheC2F6/O2/Arplasma,theincreaseintheLFpowerpromptedthereactionbetweenO2andC2F6,resultingintheeliminationofCF3andCF2radicals,andtheproductionofanF-richplasmaenvironment.TheF-richplasmaimprovedtheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kfilms,leadingtoahighetchingrateandasmoothetchedsurface.
简介:摘要目的分析中晚期孕妇心电图表现,讨论其在孕期保健中的意义。方法收集孕孕13周~40周健康孕妇350例,以4周为组段分为7组,每组50人,收集同期在我院健康体检育龄期女性心电图350例,进行统计分析。结果孕妇组心电图异常发生率明显高于非孕妇组,主要异常为窦性心动过速(26.86%),ST-T改变(12.00%),短P-R间期(8.86%),逆钟向转位(7.71%),电轴左偏(7.43%),室性早搏(5.74%),房性早搏(5.14%),低电压(3.14%),Tv1倒置(80.29%)。窦性心动过缓,电轴右偏发生率孕妇组低于非孕妇组。孕妇组内随孕周的增加心电图异常发生率也相应增加。结论孕妇心电图异常发生率明显高于正常非孕人群,妊娠期心电图变化多为生理性改变,对症处理后可好转。
简介:基于国内厚度不大于2mm的S350冷轧薄钢板材性数据、冷弯薄壁型钢构件几何尺寸数据及已完成的轴压、偏压、受弯构件承载力试验数据,对厚度不大于2mm的S350超薄壁冷弯型钢构件的材料强度不定性、几何特性不定性、计算模式不定性进行了分析.采用JC法,按现有规范的抗力分项系数计算了各类基本构件在不同可能荷载组合下的可靠指标,并根据可靠度分析结果,提出了对现有规范承载力计算值的建议修正方法.结果表明:对于厚度不大于2mm的S350超薄壁冷弯型钢构件,当翼缘宽厚比满足规范要求时,按现有规范的抗力分项系数计算得到的轴压构件可以满足目标可靠度的要求,偏压构件的可靠指标低于目标可靠指标,受弯构件的可靠指标略低于目标可靠度.按建议方法计算偏压构件的承载力时,偏压构件的可靠指标大于目标可靠指标.最后给出了厚度不大于2mm的S350超薄壁冷弯型钢构件的强度设计指标建议值.