简介:摘要电子工业洁净厂房生产环境根据其生产工艺的特点和要求对房间内的微粒数量有严格要求,本文通过工程实例,阐述了MAU+FFU+DCC系统在电子洁净厂房中的应用。
MAU+FFU+DCC系统在电子洁净厂房中的应用