简介：

简介：<正>00585UltraBroadbandMEMSSwitchonSiliconandGaAsSubstrates/R.Chan,R.Lesnick,D.Caruthetal(UniversityofIllinois,USA)//GaAsMANTECHConference.2003.—25报导了高可靠dc～110GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEMS开关的性能。当频率高至110GHz,该开关插损小于6dB,隔离度大于15dB,开关寿命大于6.9×10~9循环。文章还介绍了实现超宽带性能及高可靠性所采用的设计方法和制造方法。

简介：AreviewontheresearchofMicroElectromechanicalSystems(MEMS)technologybasedbiomimeticciliaispresented.Biomimeticcilia,enabledbytheadvancementofMEMStechnology,havebeenunderdynamicdevelopmentforthepastdecade.AfterabriefdescriptionofthebackgroundofciliaandMEMStechnology,differentbiomimeticciliaapplicationsarereviewed.Biomimeticciliamicro-actuators,includingmicromachinedpolyimidebimorphbiomimeticciliamicro-actuator,electro-staticallyactuatedpolymerbiomimeticciliamicro-actuator,andmagneticallyactuatednanorodarraybiomimeticciliamicro-actuator,arepresented.Subsequentlymicromachinedunderwaterflowbiomimeticciliamicro-sensorisstudied,followedbyacousticflowmicro-sensor.ThefabricationoftheseMEMS-basedbiomimeticciliadevices,characterizationoftheirphysicalproperties,andtheresultsoftheirapplicationexperimentsarediscussed.

简介：MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-MechanicalSystem的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。

简介：MicroandNanotechnologyareengineeringonanextremelysmallscale.Alreadytheyarebeingappliedtocreatemanynewproducts.Nanotechnologyispredictedtobecomethebasisforremarkablypowerfulandinexpensivecomputers,fundamentallynewmedicaltechnologiesthatcouldsavemillionsoflives,sensorsimportantinmilitaryapplicationaswellasenvironmentalprotection.Themainaimofthisreviewistoconcentrateinformationfromdifferentprintedandonlinesourcesandhelptomakearightdecisioninverydynamicsensormarketaswellasletknowwhatweshouldexpectinthenearestfuture.

简介：<正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

简介：PolysiliconMicroelectromechanicalsystems(MEMS)arethesubjectofintensiveresearches.SurfacechemistryandtopographyofaMEMSteststructurefabricatedatSandiaNationalLaboratory,USA,werestudiedbymeansofscanningelectronmicroscopy(SEM),X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)andatomicforcemicroscopy(AFM).XPSC()andSi2,spectrafromthepolysilieoncomponents,siliconnitridesubstrateandareferencesiliconwaferwerecompared.Theresultsconfirmthepresenceofaself-assembledmonolayer(SAM)ontheMEMSsurface.Anisland-likemorphologywasfoundonbothpolysiliconandsiliconnitridesurfacesoftheMEMS.Theislandstaketheformofcaps,beingupto0.5μmindiameterand20nminheight.Itisconcludedthattheco-existenceofcolumnargrowthandequiaxedgrowthduringthelowpressurechemicalvapordeposition(LPCVD)oftheselayersleadstotheobservedmorphologyandtheislandsarecapstothecolumnarstructures.

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简介：LIGAtechniquehasbeendevelopedsince1993atBSRF,includingthefabricationofLIGAmask,deepX-rayLithography,electroplating,thepouringmoldingandtheapplicationsinsomefields.TheLIGAmaskwithgoldabsorbingstructuresof20μmthicknessand5μmwidthandKaptonmembraneofaround5μmthicnesshasbeensuccessfullfabricatedandappliedtothedeepX-raylithographywiththePMMAstructureof1mmthicknessorobove.thebeamlineformawigglerisusedforthedeepX-raylithographyofLIGAstatiionandisopentootheinstitutesresearchingthedeepX-raylithography.ThenormalprocessofLIGAtechniquewiththeexceptionofmoldinghasbeenestablishedwiththePMMAstructuresof500μmthicknessatBSRF.ThelargestaspectratioofPMMAstructruescanreachabout50withtheheightof500μmandthelateralsiaeof10μm.Thenickelandcopperstructureswiththetheicknessof0.5mmand1mmhavebeenmadebyusingtheelectroplatingtechnique.TheSU8asaresistmaterialofdeepetchlithographywithUVlightisalsodevelopedinthefabricationofLIGAmaskandsomedevicesatBSRF.Electromagneticsteppingmicromotor,haetexchange,accelerator,structuresusedintheEDM(electrodischargemachinging)arebeingdevelopedforthefutureapplications.

简介：摘要MEMS技术是在现代微电子技术的基础上发展起来的一门新兴科学技术，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有学科，如电子、机械、物理、化学、材料、能源和生物医学等；同时MEMS也为上述学科的进一步研究和发展提供了有力的工具1。依托MEMS技术，人们期望通过将宏观结构微型化、集成化来探索具有新原理和新功能的元件及系统；将产品的自动化、智能化和可靠性提高到一个崭新的水平。

简介：OnaccountofthemultiformityofMEMSdevices,itisnecessarytointegratewithsomeopticalmeasurementtechniquesformeetingstaticanddynamicunittestrequirements.Inthispaper,anautomatedMEMStestsystemisbuiltofsomecommerciallyavailablecomponentsandinstrumentsbasedonvirtualinstrumenttechnology.Thesystemisintegratedwithstroboscopicimaging,computermicro-vision,microscopicMirauphaseshiftinginterferometry,andlaserDopplervibrometer,andisusedforthemeasurementoffull-viewin-planeandout-of-planegeometricparametersandperiodicalmotionsandsinglespotout-of-planetransientmotion.Thesystemconfigurationandmeasurementmethodsareanalyzed,andsomeapplicationsofthemeasurementofin-planeandout-of-planedimensionsandmotionsweredescribed.Themeasurementaccuracyofin-planedimensionsandout-of-planedimensionalisbetterthan0.2μmand5nmrespectively.Theresolutionofmeasuringin-planeandout-of-planemotionsisbetterthan15nmand2nmrespectively.

简介：摘要微机电系统(microelectromechanicalsystem，MEMS)继电器具有体积小、功耗低、响应快、隔离度高、负载能力强等优点成为下一代继电器的研究热点。本文主要调研了MEMS继电器的典型结构与研究现状，并对各种结构进行了分析。

简介：摘要：随着时代的发展与科技的进步，互联网各种技术的出现，让电渐渐的成为了不可或缺的“生活必需品”。同时，很多新兴产业也在渐渐成熟,而这些新的产业、新的技术也让我们看到了技术运用在我们生活中的可能性。一个国家的军备力量，在很大程度上代表了一个国家的综合实力，所以这些先进技术在军事上的运用就显得尤为重要。而在20世纪末期出现的MEMS在很大程度上，带电气行业走上了一个新的高度。

简介：InordertoaccomplishreliablemechanicaldesignofMEMS,theinfluencesofsurfaceroughnessandoctadecyltrichlorosilane(OTS)self-assembledmonolayers(SAMs)onthemechanicalpropertiesofmicromachinedpolysiliconfilmsforMEMSareinvestigated.Surfaceeffectonthefracturepropertiesofmicromachinedpolysiliconfilmsisevaluatedwithanewmicrotensiletestingmethodusingamagnet-coilforceactuator.Statisticalanalysisofthesurfaceroughnesseffectsonthetensilestrengthpredicatedthesurfaceroughnesscharacterizationofpolysiliconfilmsbeingtestedandthedirectrelationofthemechanicalpropertieswiththesurfaceroughnessfeatures.Thefracturestrengthdecreaseswiththeincreaseofthesurfaceroughness.Theoctadecyltrichlorosilaneself-assembledmonolayerscoatingleadstoanincreaseoftheaveragefracturestrengthupto32.46%.SurfaceroughnessandthehydrophobicpropertiesofspecimenwhencoatedwithOTSfilmsarethetwomainfactorsinfluencingthetensilestrengthofmicromachinedpolysiliconfilmsforMEMS.

简介：去年台积电是全球最大的纯MEMs器件代工厂商，营业收入刚增201％，小但夺取了竞争对手的市场份额，而且创造了新的收入来源。

简介：在柔性LCP基板上制备RFMEMS开关,加工难度较大,影响开关质量的因素较多。主要研究影响LCP基RFMEMS开关加工质量的主要因素,寻找工艺过程控制解决方案。通过对关键工序的试验,对加工过程中的基板清洗、LCP基板覆铜面镀涂及整平、LCP基板无铜面溅射金属膜层、LCP基板平整度保持、二氧化硅膜层生长及图形化、牺牲层加工、薄膜微桥加工、牺牲层释放等工序进行了参数优化。研制的LCP基RFMEMS开关样件频率≤20GHz、插入损耗≤0.5dB,回波损耗≤-20dB,隔离度≥20dB,驱动电压30~50V。该加工方法对柔性基板上可动结构的制造具有一定的借鉴价值。

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简介：RFMEMS开关是用MEMS技术形成的新型电路元件，与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大等优点，将对现有雷达和通信中RF结构产生重大影响。文章介绍了RFMEMS开关的基本工艺流程设计，工艺制作技术的研究。实验解决了种子层技术、聚酰亚胺牺牲层技术、微电镀技术的工艺难题，制作出了RFMEMS开关样品，基本掌握了RFMEMS器件的制作工艺技术。RFMEMS开关样品测试的技术指标为：膜桥高度2um～3um、驱动电压〈30V、频率范围0～40GHz、插入损耗≤1dB、隔离度≥20dB，样品参数性能达到了设计要求。

简介：微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域，建模与仿真技术的迅速发展，讨论了目前有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。

简介：在新千年里太空计划的重点仍然是自动化探测和载人探测两个方面。对远距离的行星、小星体、太阳的探测等开拓性任务最主要的是用自动化或半自动化太空飞行器来实现,而在近地空间和火星上执行高度智能化的详细研究,以及在地球以外探索扩大人类生活环境可能性的研究就需要载人飞行器来完成。而无论是哪一种探测任务,未来的太空探测与传统的探测相比大大不同,将更强调成本效益和高度集中的任务目标。实现这些目标的策略是开发特别小型化的功能专一