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  • 简介:自硅芯片问世以来,芯片制造商一直认为芯片越小越好。芯片越小,电子运动的距离越小,运算速度越快。但芯片小到一定程度时,漏电问题就会成为主要矛盾。

  • 标签: 硅芯片 电子运动 运算速度 漏电问题
  • 简介:利用MOCVD技术,分别在图形化蓝宝石衬底(PSS)、沉积有AlN薄膜的图形化蓝宝石衬底(PSS-A)和经过选择性刻蚀掉部分AlN的AlN薄膜的图形化蓝宝石衬底(PSS-E)外延生长GaN。在高倍金相显微镜下面观察了生长的表面形貌,利用AFM测量了外延片表面的粗糙度,对比分析了三种样品(002)面和(102)面XRD的FWHM,然后对三个样品切片,SEM观察了三种样品的剖面图,最终将三种样品衬底的外延片制备成相同产品,对比分析了样品的LED芯片的光电参数。

  • 标签: 氮化镓 衬底 缓冲层 氮化铝 发光二极管
  • 简介:采用真空蒸镀与化学镀两种方法制备GaN基发光二极管(LED)金电极,分析比较了两种工艺所得芯片成本、外观色差、打线拉力。结果表明,化学镀金可选择性还原欲沉积的金属于电极,较之蒸镀整面金属,可大幅度节省金属成本,且操作简单易行。化学镀金法所制得金属层,较蒸镀法所制得金属层表面粗糙,可有效减少电极间的色差,且能提高打线或焊线的附着力。

  • 标签: 真空蒸镀 化学镀金 发光二极管 色差 附着力