简介：原子力显微镜（AFM）是进行纳米测量和操作的重要工具。针对力测量过程中AFM定位系统的测量速度慢和窄带等问题,基于逆系统的迭代学习控制思想,设计一个前馈控制环节,补偿AFM定位系统中z轴方向上动态特性非线性影响。通过在一定带宽内对期望输入信号进行轨迹跟踪,使激励力（通过悬臂梁）无失真地施加在样本上,达到AFM准确测量的目的。该方法不仅拓宽了系统频带,而且提高了系统输出对期望输入的跟踪精度。
简介：设计了一种在精密加工操作中对操作人员及外界非正常颤抖信号进行检测并自动补偿的微型操作仪。仪器结构精巧，具有可拆卸及更换的加工探头，可满足不同精密加工的使用需求。基于经典PID闭环控制和边缘检测原理，采用激光干涉仪对精密加工位置信号进行检测，对干扰信号进行判断并做出相应补偿措施；采用压电陶瓷微电动机PM的逆向运动自动补偿颤抖产生的误差，保证精密加工的可靠性和精确度。实验表明，该微型仪器能自动补偿颤抖干扰信号，精度可达到1μm，对精密加工的精度提高及误差补偿研究有一定借鉴价值。
AFM定位系统动态误差补偿方法研究
颤抖自动补偿式微型精密加工仪的设计
