简介：设计并制备了极紫外啁啾多层膜反射镜,利用同步辐射反射率测试装置完成了样品反射率的测试,采用单纯形算法拟合了反射率测试曲线,分析了顶层Si的氧化对拟合结果的影响。拟合结果表明,2块样品的Si-on-Mo粗糙度为0.4nm和0.5nm,Mo-on-Si粗糙度为0.8nm和0.9nm,顶层Si的氧化是影响极紫外啁啾多层膜反射镜反射率的重要因素。
简介：根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求，设计了极紫外Mg／SiC双功能多层膜反射镜，并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明：5°入射的双功能多层膜反射镜在30．4nm和58．4nm处的反射率分别大于41％、小于0．209／6。
极紫外啁啾多层膜反射镜的拟合分析
极紫外Mg／siC双功能多层膜反射镜的设计
