简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:高频信号传输基板中低损耗积层材料的半加成法Semi-additiveprocessforlowlossbuildupmaterialinhigh-frequencysignaltransmissionsubstrates半加成法(SAP)已广泛应用于超细电路制作,需要良好的介质材料,应有良好的加工性、耐化学性、尺寸稳定性和足够的机械强度,以及为高速信号传输必需具有优良的电气性能。文章介绍一种新的SAP系统,成功地应用于环氧树脂、氰酸酯型介质材料,取得了非常低的介质表面粗糙度(Ra=80±18nm)和高粘附力(658±18克力/厘米)水平,达到积层介质层表面光滑同时有高的电镀铜层附着力,促进高频信号完整性。
简介:如何更好地满足数据业务需求,成为而今ICT产业的焦点,3G、LTE、Wi-Fi成为增速迅猛的领域,但在满足数据覆盖和数据应用的精细化需求方面,Femto正显示出巨大的潜力。在2011年度Femto大会期间,本刊对全球Femto论坛副主席AndyGermano进行了专访。
简介:2011年3月1日,索尼中国专业系统集团在北京金茂威斯汀大酒店隆重举办CCBN2011(第十九届中国国际广播电视信息网络展览会)展前媒体见面会,发布了今年参展CCBN的主题和市场理念,介绍了即将推出的产品,
简介:元旦复旦、日月如恒,阳春布泽、万物盎然。值此新年来临之际,我们谨代表中国半导体行业协会集成电路分会、江苏省半导体行业协会理事会,向奋斗在我国、我省集成电路产业战线上的各会员单位、产业链