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  • 简介:采用宏观腐蚀、X射线衍射分析和扫描电镜观察,研究在不同冷却速度下凝固的Al-1%Si-0.5%Cu(质量分数,下同)合金的宏观和微观组织。实验结果表明,冷却速度对Al—Si—Cu合金的凝固组织有显著影响。随着冷却速度增大,Al-Si—Cu合金凝固组织的晶粒形状和尺寸以及第二相的大小、形貌和分布都发生明显的变化:炉冷试样晶粒为粗大树枝晶状,第二相呈带状富集在晶界处,宽度达15μm:铁模和铜模铸造试样具有典型铸锭组织,大部分第二相呈不到3μm宽的线状富集在晶界处,但铜模铸造试样的柱状晶区较窄,且晶粒较细小;水冷铜模铸造试样几乎完全为细小的等轴晶,晶粒尺寸小而均匀,第二相呈直径约3μm的细小点状弥散分布在α—Al基体中,可得到成分和结构都较均匀的靶

  • 标签: Al—Si—Cu溅射靶材 冷却速度 凝固组织
  • 简介:热等静压(HotIsostaticPress,HIP)技术是在惰性气氛中,在各向均衡的气体高压力及高温共同作用下,去除材料内部的孔洞及缺陷,以改善机械性质、使粉末材料及表面蒸镀物具一致性、通过扩散键结(diffusionbonding)改善焊接完整性等。热等静压适用于多种材料及器件,特别是铝合金、工具钢、钛、超合金以及蒸汽涡轮零件、医学植入件、自动化铸件、靶与粉末冶金制品等。考虑到近年来随着高密度、高传输速率光储存媒体及平面显示器的发展,靶的研究与开发,巳成为光学薄膜制造的关键技术,该文作者以热等静压方法改善金属靶,比较热等静压前后靶性质差异和论证批量生产的可行性;并探讨热等静压处理对靶性质的影响、比较其显微结构变化,以评估热等静压改善金属靶之可行性。研究结果显示,利用l100℃,175MPa,4h热等静压的制备流程条件,对3种不同成分配比之Cr-Si热压靶进行热等静压处理,均可有效改善孔隙率,其中以50Cr-50Si的热等静压效果最为显著,孔隙率可有效降低60%。此外,靶在经过热等静压后,由于炉内气体的纯化效应而使得靶的氮、氧浓度皆有所上升,尤其是Si以单独元素形态存在时更甚,从而造成靶纯度受到影响。

  • 标签: 热等静压 扩散键结 靶材 孔隙率