简介:摘要售电侧改革是在“互联网+”智慧能源技术实施落实的重要环境和机会。在这一技术的背景和环境下,针对电能代替发展线路进行分析和研究,分析“互联网+”智慧能源的发展需求,从而提出了“互联网+”电能代替的概念,并且分析这一概念的特点,通过售电侧改革背景下提出的发展路线,对其中关键的技术和运营模式收益进行分析,从而为我国实现“互联网+”电能替代的发展,促进全球能源互联网建设提供建议。
简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:严国瑾这个名字,相信许多读者都耳熟能详,有的读者还与他在工作中有所接触。名字听得多了,不禁引起了记者的好奇,他的故事、他的工作经历都成了想要采访的内容。终于,一次一起出差的机会让记者