简介:采用HSiCl3—NH3—N2(稀释气体)体系在石英陶瓷基板上通过低压化学气相沉积(LPCVD)法沉积出了Si3N4涂层,研究了工艺条件对涂层沉积速率的影响。结果表明,在没有稀释气体的情况下,随着沉积温度升高,Si3N4涂层的沉积速率逐渐增加,在850℃附近达到最大值,随着反应温度的进一步升高,涂层沉积速率下降。当存在稀释气体时,在所选温度范围内随着沉积温度的升高,Si3N4涂层的沉积速率一直增大,反应的表观活化能约为222kJ/mol。随着原料中NH3/HSiCl3流量比值的增大,Si3N4涂层的沉积速率逐渐增加,随后稳定,但稍有下降趋势。在所选稀释气体流量范围内,Si3N4涂层的沉积速率随着稀释气体流量的增加而增大。
简介:研究了高纯煤沥青作为粘结剂应用于高纯石墨制备过程中的混捏、辊压工艺,对高纯煤沥青各组分及结焦值进行了测定,考察了配料比、混捏温度、混捏时间、辊压温度、辊压次数等因素对混捏、辊压过程中物料的均匀程度、塑性及成型效果的影响。确定了最佳工艺条件:混捏配料比为1:0.8、混捏温度为140℃、混捏时间为lh、辊压温度为140℃、辊压次数2~3次。结果表明,采用高纯煤沥青作为粘结剂应用于高纯石墨制备过程中的混捏、辊压工序,其各项性能指标满足国内外煤沥青粘结剂指标的要求,不仅具有较强的粘结性能,且杂质含量极低,能够满足高纯石墨制备对原料纯度的要求。混捏及辊压工序直接关系到后续高纯石墨产品的成品率。在此条件下,所得物料混合均匀、塑性好、糊料成型效果好且产品表面光洁致密度高,为下一步等静压提供了合格的原料。
简介:对于一种自行设计成分的超高强度衬板用合金钢进行了热处理试验,采用正交试验及极差分析的方法,分析了热处理参数对试验钢力学性能的影响。通过冲击磨料磨损试验,对比优化后工艺及原有工艺的耐磨性,进一步研究了热处理参数对耐磨性的影响。结果表明,各热处理参数对硬度均影响不大,回火温度对试验钢的屈服强度和抗拉强度影响最大,淬火温度对试验钢的冲击韧性影响最大。试验钢的最优热处理工艺为:(950℃保温1.5h)油淬+(300℃保温2h)回火+空冷至室温。试验钢在热处理后获得了均匀的贝氏体+马氏体+残余奥氏体混合组织,抗拉强度达到1839MPa,屈服强度达到1631MPa,硬度达到50.1HRC,冲击韧性值达到11.9J/cm2,综合力学性能良好,且耐磨性在任何冲击功条件下均高于原有工艺。