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微细<b style='color:red'>加工</b>技术
  • 学科: 电子电信 > 微电子学与固体电子学
  • ISSN:1003-8213 CN: 43-1140/TN
  • 标签: 电子束 微机电系统 微细加工 金刚石薄膜 集成电路 MEMS 金刚石
  • 简介:《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。