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气体管路长度与压力变化特性探究

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摘要摘要

DOI 7dm32lvyjn/7233954

作者李峥于朋扬李霖

机构地区中国电子科技集团公司第四十五研究所

出处《中国科技信息》 2023年5期

关键词气体管路长度压力变化气体流动阻力半导体加工

分类 [][]

出版日期 2023年06月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国科技信息

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