130:87966u 发射红光的磷化镓型半导体基板的制造方法

(整期优先)网络出版时间:2005-01-11
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本专利所述的CaP型半导体基板用于红光发射的元器件,其制造方法是先生长n型单晶,此单晶含有1.0×10^16个原子/c.c,用B203并含有≥200ppm的H20作为封装液体来用查理斯基封装法(Czochraskimethod)封装,生成一种CaP和P型CaP层在半导体的表面上。N型CaPn型层可掺杂入S,P型CaP可掺杂O或Zn。