由两种不同材料交替生长而成的纳米多层膜,其硬度出现增强现象,在调制周期一定范围内出现极大值。这一现象有理论研究意义和实际应用价值。综合评述了硬度增强理论和应用的研究结果,展望了未来的研究发展方向。
纳米科技
2006年5期