Effect of Enhanced Plasma Density on the Properties of Aluminium Doped Zinc Oxide Thin Films Produced by DC Magnetron Sputtering

(整期优先)网络出版时间:2011-05-15
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铝做了锌氧化物(偶氮)薄电影被DC磁控管在低底层温度劈啪作响准备。同轴的螺线管卷被放在磁控管目标附近提高血浆密度(Ji)。提高的血浆密度显著地改进了体积抵抗力()并且它在偶氮的电影的空间分发的同质。X光检查衍射(XRD)分析表明增加的Ji影响了crystallinity,压力松驰和另外的材料性质。偶氮的电影在模式显示出的低血浆密度(LPD)扔了显著变化在(从6.5ate温度固体氧化物燃料房间(SOFC),哪个可能在500600点被操作?慀牲慥獲眠吗?