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CVD
法氮化硅薄膜制备及性能
作者：
王莉
学科：
文化科学
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创建时间：2019-02-12
出处：
《科技尚品》
2019年第2期
机构：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
简介：
标签：
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CVD
法氮化硅薄膜制备及性能
CVD
法氮化硅薄膜制备及性能
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