简介:在柔性LCP基板上制备RFMEMS开关,加工难度较大,影响开关质量的因素较多。主要研究影响LCP基RFMEMS开关加工质量的主要因素,寻找工艺过程控制解决方案。通过对关键工序的试验,对加工过程中的基板清洗、LCP基板覆铜面镀涂及整平、LCP基板无铜面溅射金属膜层、LCP基板平整度保持、二氧化硅膜层生长及图形化、牺牲层加工、薄膜微桥加工、牺牲层释放等工序进行了参数优化。研制的LCP基RFMEMS开关样件频率≤20GHz、插入损耗≤0.5dB,回波损耗≤-20dB,隔离度≥20dB,驱动电压30~50V。该加工方法对柔性基板上可动结构的制造具有一定的借鉴价值。
简介:随着IPTV/VOD、NGN(NextGenerationNetwork)、网络视频、高清电视、多媒体互动等新型业务的迅猛推广,用户对网络接入宽带的需求持续快速增长,传统的非对称数字用户线路(ADSL,AsymmetricDigitalSubscriberLine),的宽带接入方式已经很难满足用户对宽带日益增长的需求。基于EPON的FTTx技术的引入,改变了传统的宽带接入方式,能够在很大程度上给用户提供更高宽带的全光网络。所以,对EPON接入网如何进行建设与部署是一个至关重要的问题。本文简单首先浅析了FTTx的相关概念以及实现的技术,并对通信业务的发展及其对带宽的要求进行简单分析,最后对基于以太网技术的无源光网络EPON的FTTx接入技术的系统结构、工作原理、关键技术等问题进行研究。