简介:摘要为了研究系统的零极点分布对幅度响应和相位响应的影响,本文采用了几何确定法,将系统函数分别用极矢和零矢来表示,借助Matlab软件作图分析当系统的零极点分别在单位圆内变化时对系统的幅度响应和相位响应的影响。理论分析和软件仿真的结果表明对幅度响应,零点的位置影响曲线的凹谷位置和深度,极点的位置影响曲线的凸谷位置和尖锐程度。
简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。