简介:介绍了钝化离子注入半导体探测器的工作原理和制备工艺,两种探测器制备的灵敏面积分别为10mm^2和25mm^2,辐射性能测试实验结果表明该探测器具有响应线性度好、噪声低、偏压低等优点,反向偏压为3V时,剂量率监测范围为:1×10^-3~1×10^3cGy/h.
简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:摘要:利用会昌县两套负氧离子监测站2021年6月~2022年5月的大气负氧离子浓度资料和同站点同期的地面气象观测资料对会昌县大气负氧离子浓度变化特征及负氧离子浓度与气象要素的关系进行分析,结果表明:汉仙岩风景区大气负氧离子浓度的四季变化不大,呈春季>夏季>冬季>秋季分布;会昌县城郊大气负氧离子浓度四季变化较大,呈冬季>春季>秋季>夏季分布,汉仙岩景区的大气负氧离子浓度在夏季和春季相对城郊更高;汉仙岩风景区大气负氧离子浓度逐月波动起伏比城郊小;两个地点的负氧离子浓度在一天的不同时次均表现为两峰两谷的形势,城郊早晨的负氧离子浓度最高,汉仙岩风景区傍晚前后的负氧离子浓度最高,冬季的日变化波动最小;在长时间序列下大气负氧离子浓度与气象要素的相关性表现不太明显,但是降水强度对大气负氧离子浓度有明显的影响,出现短时强降水时负氧离子浓度能够快速增加,随着降水的停止也会快速降低。
简介:建立了考虑外部有限速率传热过程和热源间热漏的不可逆半导体固态热离子制冷器模型,基于非平衡热力学和有限时间热力学理论导出了热离子制冷器的制冷率和制冷系数的表达式;对比分析了不可逆热离子制冷器与可逆热离子制冷器的发射电流密度特性、电极温度特性以及制冷系数特性;研究了不可逆系统的制冷率与制冷系数最优性能,得到了制冷率和制冷系数的最优运行区间;通过数值计算,详细讨论了外部传热以及内部导热、热源间热漏损失、热源温度、外加电压、半导体材料势垒等设计参数对热离子装置性能的影响。在总传热面积一定的条件下,进一步优化了高、低温侧换热器的面积分配以获得最佳的制冷率和制冷系数特性。结果表明,由于存在内部和外部的不可逆性,热离子装置的发射电流密度及制冷系数都会明显降低;不可逆半导体固态热离子制冷器的制冷率与制冷系数特性呈扭叶型;合理地选外加电压、势垒等参数,可以使制冷器设计于最大制冷率或最大制冷系数的状态。
简介:摘要:开展主要景区负氧离子资源普查,为挖掘高质量的生态旅游气候资源提供数据支撑,这是贯彻国家生态文明建设和乡村振兴战略一项创新举措。本文作者在两年时间里,利用便携式负氧离子监测仪对马鞍山市主要景区的负氧离子进行现场监测,并进行一定的数据分析,为马鞍山市气候资源开发利用、生态旅游以及天然氧吧等提供科学数据支撑。
简介:摘要空气负氧离子浓度多少,是空气清新与否的重要标志。通过对河北省唐山市区(平原,平均海拔23.2m)和四川省阿坝州若尔盖县城(高原,平均海拔3441.4m)负离子浓度定点及代表性区域检测得知,唐山市负离子浓度平均为1500n/cm3左右,属空气较清新宜居城市,且环城水系建设使整个唐山市区负离子浓度明显上升。若尔盖县城附近负离子浓度平均为1200n/cm3左右,低海拔农区负离子浓度平均为2500n/cm3左右,表现出人体清新度相同而实际负离子含量相差较大现象,负离子偏少因高原季节性影响突出,若尔盖大草原环境优化和丛林植被延伸是增加本县城负离子数量的最有效途径。