简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:摘要:本文针对学生不易掌握导数含参数问题中参数该如何分类的问题,通过对几个典型问题的探究,结合流程图来对参数的分类方法和含参数问题的求解步骤来进行总结,形成解决此类问题的模式化解题方法。用流程图来体现参数的分类方法,直观明了,易理解,将解题思想流程化,易操作。
简介:目的研究肝硬化患者死亡与并发症的关系,改善预后。方法分析230例肝硬化患者的年龄、病因、临床表现、并发症和常见死亡原因。结果其中以50~59岁和40—49岁年龄组患者发病率高达33%、30.9%。病毒性肝炎后肝硬化166例(72%),血吸虫性肝硬化23例(5%)。并发上消化道出血28例(12%),肝昏迷15例(6%),感染29例(13%),原发性肝癌16例占7%。230例患者中院内死亡25例,死亡率11%,死因中:上消化道大出血17例(34%);肝昏迷13例,感染20例,占死亡病例80%。结论预防和治疗肝硬化患者的并发症是提高肝硬化患者存活率的重要方法。
简介:摘要目的探讨急性应激性脑卒中患者并发应激性高血糖的高发因素及应激性高血糖对预后的影响。方法分析我院2005~2008年住院无糖尿病史的急性脑卒中患者230例,分析应激性高血糖与患者年龄、性别、病种、病情严重程度、基础疾病及预后的关系。结果高龄、病情重、伴有高血压、高血脂、肥胖、感染患者,其应激性高血糖发生率明显升高(P<0.05),并发应激性高血糖的脑卒中患者病死率明显升高(P<0.05)。结论控制应激性高血糖可以有效提高急性脑卒中救治成功率。