光干涉理论在制膜工程技术中的应用-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2006-04-14

作者: 吴纲

电气工程 >电机

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介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理，并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制。

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